高温压力传感器  

作　　者：石立峰 吴仲达 

出　　处：《国外传感技术》2002年第4期122-127,共6页

关 键 词：高温压力传感器 多晶硅电阻 硅熔焊工艺 微结构工艺 应用 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]