硅光子学：光电子学与微电子学的联姻  

作　　者：甘甫烷 余明斌 武爱民[2] 李伟[2] 

机构地区：[1]中国科学院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室 [2]中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

出　　处：《科技纵览》2017年第11期62-65,共4页IEEE Spectrum

基　　金：致谢：感谢国家重点研发计划重点专项项目“低损耗硅基微纳16信道波长复用/解复用器及32信道波长路由器研究”（项目编号：2017YFA0206403）和中科院重大战略先导专项项目“大规模光子集成芯片”（项目编号：XDB24020000）的支持.

摘　　要：中国科学院上海微系统与信息技术研究所的研究团队围绕“微电子和光电子的融合”，基于互补金属氧化物半导体工艺技术，在硅光子加工工艺平台、高性能硅基光器件、硅基光子集成等方面取得了一系列意义重大的进展。

关 键 词：微电子学 光电子学 光子学 硅基 互补金属氧化物半导体工艺 信息技术 中国科学院 加工工艺 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]