硅外延生产中SPC技术的研究成果  

作　　者：边娜[1] 赵新明[2] 陈涛[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津300220 [2]天津市计量监督检测科学研究院,天津300192

出　　处：《工业计量》2018年第2期65-67,共3页Industrial Metrology

摘　　要：统计过程控制技术是以数理统计为基础,通过生产数据统计分析,对生产过程是否处于统计受控状态做出定量结论。控制图本身只是一种工具或手段,绘制控制图的目的在于管制制程在我们所期望的范围内,合乎经济原则来生产产品。文章通过在硅外延生产中采用科学的SPC监控案例,实现质量诊断、质量改进、质量评价的功能,最终达到了改善产品质量、提高生产效率和经济利润的目的。

关 键 词：SPC 硅外延 质量改进 

分 类 号：O213[理学—概率论与数理统计]