硅外延

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总投资12.3亿元,立昂微年产96万片12英寸硅外延片项目落地
《变频器世界》2025年第2期46-46,共1页
2月22日,杭州立昂微电子股份有限公司(证券简称:立昂微)发布关于签署投资协议书的进展公告,立昂微近日与嘉兴市南湖高新技术产业园区管理委员会正式签署《年产96万片12英寸硅外延片生产项目投资协议书》(以下简称“投资协议书”),将在...
关键词：固定资产投资 计划总投资 高新技术产业园区 外延片 项目落地 协议书 嘉兴市 证券 
大尺寸厚层硅外延片表面滑移线缺陷检验研究
《电子与封装》2024年第7期85-89,共5页葛华 王银海 杨帆 尤晓杰 
目前制约大尺寸厚层硅外延产品高质量生产的主要因素是表面滑移线,而滑移线的过程控制严重依赖于滑移线的完整、准确检验识别。通过对不同宏观显现的滑移线表征方法的研究,比较了各类检验的误差来源,分析出了影响硅外延滑移线量化计算...
关键词：滑移线 检验误差 量化计算 
多片平板硅外延机台均匀性提升研究
《机电信息》2024年第13期68-72,共5页吴庆东 
论述了多片平板硅外延机台影响外延层均匀性的因素,通过试验验证影响因素,得出了控制这些因素的方法及条件。
关键词：多片平板外延机台 炉内均匀性 旋转控制系统 
一种埋层电阻率波动解决方案
《中国科技信息》2024年第12期105-107,共3页尤晓杰 王银海 李博源 
随着智能制造、车载电子以及高性能电子产品等新兴产业的快速发展,高稳定性、低功率消耗的双极集成电路(Bipolar IC)需求越来越大。双极集成电路以NPN或PNP型晶体管为基础,需要在已经制作有埋层的硅单晶衬底上进行外延生长。硅外延生长...
关键词：双极集成电路 外延生长 电子产品 埋层 硅单晶 智能制造 晶向 硅外延 
雪崩光电探测器用厚膜高阻外延材料的生长研究
《电子元器件与信息技术》2024年第3期11-14,23,共5页刘云 李明达 
本文阐述了以P型重掺杂硅抛光片(ρ<0.02Ω·cm)为硅单晶衬底,采用化学气相外延方法生长P型厚层高阻外延层(T:62±3%μm,ρ:200±3%Ω·cm)。通过对硅外延反应设备的流场、热场结构的设计,以及表面保护层等新工艺的设计和实施,对硅外延...
关键词：雪崩光电探测器 硅外延 均匀性 裂纹 
硅外延生长反应腔内外延反应过程的数值仿真建模及实验研究
《机械工程学报》2024年第5期209-218,共10页邓世伟 沈文杰 陈宇宏 白天 梅德庆 汪延成 
国家自然科学基金(52175522);浙江省重点研发计划(2020C01034,2022C01041)资助项目。
硅外延片是大规模集成电路、半导体器件等的基础功能材料,是通过外延反应在单晶硅片上生长均匀的外延薄层。外延层的厚度和电阻率的均匀性控制是硅外延生长的关键技术难题,其生长质量受反应腔室的结构与热流场设计影响较大。基于单片式...
关键词：硅外延层 外延生长 化学气相沉积 热流场 反应腔室 
ASM E2000硅外延片异常背圈现象研究与分析
《电子与封装》2024年第1期51-55,共5页徐卫东 肖健 何晶 袁夫通 
ASM E2000外延炉在生产硅外延片的过程中,晶圆背面有时会出现异常背圈的现象,包括背圈大小异常、背圈形状异常、背圈偏心等。经研究发现,背圈现象只会在非二氧化硅背封的晶圆上出现。针对异常背圈的产生,进行了滑片、气流、温度、时间...
关键词：硅外延缺陷 背圈 晶圆背圈 ASM E2000外延炉 
硅外延片生产中工艺缺陷——滑移线的成因分析和控制措施被引量：1
《天津科技》2023年第12期35-37,共3页徐卫东 肖健 何晶 
滑移线是一种硅外延片生产中常见的缺陷,由于硅外延片在加热处理过程中受到不均匀的温度分布影响,导致其表面出现的一种工艺缺陷现象。结合生产设备ASM2000型号外延炉,阐述了滑移线的形成机理,通过研究衬底、基座、升降温速率、温场均...
关键词：硅外延缺陷 滑移线 PID控制 
碳化硅外延生长及其缺陷分析
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2023年第11期077-080,共4页区灿林 
本文从碳化硅同质外延生长原理及其缺陷分析的角度,介绍了碳化硅外延技术的最新研究情况。碳化硅外延生长主要使用台阶流动控制生长方法来得到高结晶质量以及厚度、掺杂浓度、缺陷密度都可控的碳化硅单晶薄膜层。外延生长阶段主要关注...
关键词：碳化硅外延 台阶流生长 位错 缺陷 
SiC外延炉模块化集成制造技术探索与研究
《电子工业专用设备》2023年第5期11-14,40,共5页谢于柳 何远湘 陈庆广 
SiC外延炉是半导体行业中的一项重要设备,其主要作用是在衬底上生长出高品质、大面积、无杂质的SiC外延薄膜。简要介绍了SiC外延炉模块化集成制造技术,并通过实施模块化集成制造技术方案,解决了设备生产周期长的问题,有效地降低了制造...
关键词：碳化硅外延 外延炉 模块化 集成制造技术 
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