埋层

作品数：117被引量：155H指数：5
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具有n^(+)埋层和L型场板的Si/SiC异质结沟槽LDMOS器件
《半导体技术》2025年第2期134-140,共7页康怡 刘东 卢山 鲁啸龙 胡夏融 
四川省科技计划项目(2021YFQ0051)。
Si/4H-SiC异质结构能够同时结合Si材料的成熟工艺和SiC材料的宽禁带特性,在功率器件设计中具有巨大潜力。提出了一种具有n+埋层和L型场板的Si/SiC异质结沟槽横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件。位于Si/SiC异质结界面SiC侧的重掺杂n...
关键词：横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS) Si/4H-SiC异质结 n^(+)埋层 L型场板 功率品质因数 
陕北某煤矿浅埋层地表移动规律研究
《测绘通报》2025年第2期180-184,共5页赵思佳 王晓宇 张若兰 张萍丽 李宏超 
河南省科技厅软科学资助(242400411047);河南省高校人文社会科学研究项目(2024-ZDJH-181)。
陕北侏罗纪煤田位于我国生态环境较为敏感的区域。长期以来,煤炭开采活动对该地区的生态造成了深远影响。监测和分析地表移动规律能够评估受影响的范围和受损最严重的地区,进而制定出有针对性的修复措施。本文利用陕西某煤矿的实际开采...
关键词：浅埋煤层 地表移动规律 动态参数 静态参数 概率积分法 Matlab参数拟合 
一种埋层电阻率波动解决方案
《中国科技信息》2024年第12期105-107,共3页尤晓杰 王银海 李博源 
随着智能制造、车载电子以及高性能电子产品等新兴产业的快速发展,高稳定性、低功率消耗的双极集成电路(Bipolar IC)需求越来越大。双极集成电路以NPN或PNP型晶体管为基础,需要在已经制作有埋层的硅单晶衬底上进行外延生长。硅外延生长...
关键词：双极集成电路 外延生长 电子产品 埋层 硅单晶 智能制造 晶向 硅外延 
浅埋层状软岩隧道大变形特征及处置措施研究被引量：3
《铁道建筑技术》2024年第4期168-172,共5页高玲玲 
中铁十二局集团有限公司科技研发计划项目(集团2018研-7-13号)。
张吉怀高铁新华山隧道在穿越炭质页岩地层时出现严重的非对称性三维大变形。为解决浅埋层状软岩隧道在开挖过程中大变形问题,建立三维层状围岩隧道数值模型,分析浅埋层状软岩隧道大变形特征及机理。结果表明,软岩力学性质是引起新华山...
关键词：浅埋隧道 层状软岩 大变形特征 机理 处置措施 
一种利用多P埋层的低导通电阻高压SOILDMOS结构
《桂林电子科技大学学报》2023年第6期439-445,共7页姜焱彬 李琦 王磊 杨保争 何智超 
国家自然科学基金(61464003)。
为了实现低比导通电阻(Ron,sp)和高击穿电压(VBV),提出并仿真一种利用多个P埋层与阶跃掺杂漂移区的低导通电阻高电压SOI LDMOS(PL-SOI LDMOS)结构。PL-SOI LDMOS结构由多个不同的P埋层组成,其长度与浓度均在垂直方向依次递减。利用多个...
关键词：击穿电压 比导通电阻 多埋层 阶跃掺杂 LDMOS 
具有分段P型埋层的Triple-RESURF LDMOS被引量：1
《微电子学》2023年第1期134-138,共5页何乃龙 许杰 王浩 赵景川 王婷 朱文明 张森 
国家自然科学基金资助项目(62074030)
提出了一种具有分段P型埋层的Triple-RESURF LDMOS(SETR LDMOS)。该结构将传统Triple-RESURF LDMOS(TR LDMOS)中均匀掺杂的P埋层漏端一侧做分段处理,使漂移区中P型杂质从源端到漏端呈现出近似阶梯掺杂的分布。这种优化能够平衡漏端底部...
关键词：P型埋层 LDMOS 击穿电压 比导通电阻 
200mmBCD器件用硅外延片制备技术研究
《功能材料与器件学报》2023年第1期46-51,共6页仇光寅 刘勇 邓雪华 杨帆 金龙 
本文涉及200 mm BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)器件用硅外延片制备技术,通过结合BCD工艺用外延材料的特性要求,从外延图形漂移、外延层均匀性、表面缺陷等参数指标,分析了衬底埋层浓度、生长温度、生长速率、缓冲层结构等工艺参数对外延参数...
关键词：埋层外延 高阻薄层 图形漂移 自掺杂 表面缺陷 
双极型晶体管用常压埋层硅外延的图形完整性研究被引量：1
《集成电路应用》2023年第2期28-31,共4页高航 李明达 
阐述埋层硅外延片作为当今双极型晶体管的关键战略材料,应用价值显著。但是相比常规无图案的抛光片外延,埋层硅外延制备工艺受制于外延均匀性、表面质量等参数制约,难度显著增加。基于<111>晶向的埋层硅外延将与<110>定位面垂直的方向...
关键词：硅外延 埋层 图形漂移 图形畸变 
浅埋层状软岩隧道监测与控制技术研究
《山西建筑》2023年第4期140-142,146,共4页聂军委 
以九绵高速梅家沟软岩隧道为工程背景,对隧道围岩变形监测方案与预警分析进行了优化,增设了隧道围岩的单点三维变形量测,并研制了相应的监测元件,提出了监控数据可靠度的分析方法,并对围岩支护对策进行了优化,提出了该工况下相应的支护...
关键词：浅埋 层状软岩 变形监测 数值模拟 支护 
基于埋层结构的高压功率MOS器件终端设计
《固体电子学研究与进展》2022年第5期352-356,共5页宋迎新 马捷 侯杰 孙德福 刘进松 李泽宏 任敏 
国家重点研发计划资助项目(2006ZYGQ0203)。
为改善传统结终端延伸(JTE)结构的终端注入剂量偏低、终端对表面固定电荷敏感、终端尺寸优化不够等缺陷,设计了一种基于场板(FP)与埋层(BL)的新型终端结构,用于降低表面固定电荷对击穿电压的影响,并且通过提高JTE区域的掺杂剂量,同时优...
关键词：结终端扩展 埋层 高能离子注入 金属场板 击穿电压 
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