LDMOS

作品数:423被引量:341H指数:7
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SOI高压LDMOS器件氧化层抗总电离剂量辐射效应研究
《半导体技术》2024年第8期758-766,共9页王永维 黄柯月 王芳 温恒娟 陈浪涛 周锌 赵永瑞 
绝缘体上硅(SOI)高压横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件是高压集成电路的核心器件,对其进行了总电离剂量(TID)辐射效应研究。利用仿真软件研究了器件栅氧化层、场氧化层和埋氧化层辐射陷阱电荷对电场和载流子分布的调制作用,栅氧化...
关键词:辐射电荷 总电离剂量(TID)辐射效应 绝缘体上硅(SOI) 横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS) 击穿电压 导通电流 
Review of the SiC LDMOS power device
《Journal of Semiconductors》2024年第8期4-17,共14页Ziwei Hu Jiafei Yao Ang Li Qi Sun Man Li Kemeng Yang Jun Zhang Jing Chen Maolin Zhang Yufeng Guo 
supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No.62074080);the Natural Science Foundation of Jiangsu Province(Grant Nos.BK20211104 and BK20201206);the Jiangsu Provincial Key Research and Development Program(Grant No.BE2022126).
Silicon carbide(SiC),as a third-generation semiconductor material,possesses exceptional material properties that significantly enhance the performance of power devices.The SiC lateral double-diffused metal–oxide–sem...
关键词:SIC LDMOS specific on-resistance breakdown voltage 
薄硅膜SOI N型LDMOS浮体效应优化研究
《中国集成电路》2024年第6期72-74,81,共4页纪旭明 邵红 李金航 顾祥 张庆东 谢儒彬 
为避免PD SOI浮体效应对高压N型LDMOS器件的击穿电压的影响,本文从SOI LDMOS器件的结构和工艺出发,分析了N型LDMOS衬底电荷积累的影响,研究体引出优化方法,通过流片验证了方案的可行,规避了浮体效应引起的击穿电压的降低及漏电增加,为SO...
关键词:PD SOI LDMOS 浮体效应 击穿电压 功率集成 
基于HTO的LDMOS器件结构及其热载流子注入退化研究
《电子学报》2024年第5期1582-1590,共9页邵红 李永顺 宋亮 金华俊 张森 
为满足中低压消费电子的市场需求,小尺寸高密度Bipolar-CMOS-DMOS技术得到了蓬勃发展,低损耗和高可靠成为Bipolar-CMOS-DMOS技术中横向双扩散金属氧化物半导体场效应管(Lateral Double-diffused Metal-Oxide-Semiconductor field effect...
关键词:横向双扩散金属氧化物半导体场效应管 热载流子注入 高温氧化层 低损耗 高可靠性 
具有阶梯掺杂缓冲层的双栅超结LDMOS
《电子元件与材料》2024年第5期505-512,共8页唐盼盼 张峻铭 南敬昌 
国家自然科学基金(61971210)。
具有N型缓冲层的超结横向双扩散金属-半导体场效应晶体管(SJ-LDMOS)结构能够有效抑制传统结构中存在的衬底辅助耗尽效应(SAD)。为进一步优化器件性能,提出了一种具有阶梯型掺杂缓冲层的双栅极SOI基SJ-LDMOS(DG SDB SJ-LDMOS)器件结构。...
关键词:SJ-LDMOS 阶梯掺杂 沟槽栅极 击穿电压 比导通电阻 
NLDMOS器件单粒子效应及Nbuffer加固被引量:2
《集成电路与嵌入式系统》2024年第3期13-18,共6页杨强 葛超洋 李燕妃 谢儒彬 洪根深 
提出了一种漂移区具有Nbuffer结构的N型横向扩散金属氧化物半导体(NLDMOS)结构,以提高器件抗单粒子烧毁(single-event burnout,SEB)能力。通过TCAD仿真验证了该结构的电学和抗单粒子特征。在不改变器件性能的前提下,18 V NLDMOS SEB触...
关键词:LDMOS 单粒子烧毁 Nbuffer 抗辐射加固 TCAD 
U型高K介质膜槽栅垂直场板LDMOS
《微电子学》2024年第1期110-115,共6页钱图 代红丽 周春行 陈威宇 
天津市大学生创新创业训练计划项目(202210060101)。
近年来,随着汽车电子和电源驱动的发展,集成度较高的LDMOS作为热门功率器件受到了关注,如何提高其击穿电压与降低其比导通电阻成为提高器件性能的关键。基于SOI LDMOS技术,文章提出了在被4μm的高K介质膜包围的SiO_(2)沟槽中引入垂直场...
关键词:LDMOS 高K介质 垂直场板 击穿电压 比导通电阻 
回字形抗辐射环栅LDMOS建模与验证
《微电子学》2023年第6期1011-1016,共6页肖洋 
重庆市自然基金项目(CSTB2023NSCQMSX0153)
介绍了一种回字形抗辐射环栅LDMOS器件。分析了该器件在版图绘制中的结构优势,并结合Sentaurus仿真结果,通过区域划分和类MOS结构拟合阈值电压,给出了该器件的等效宽长比模型和饱和电流模型。在标准商用0.18μm BCD工艺下流片,测试结果...
关键词:总剂量效应 LDMOS 环栅器件 等效宽长比模型 
一种利用多P埋层的低导通电阻高压SOILDMOS结构
《桂林电子科技大学学报》2023年第6期439-445,共7页姜焱彬 李琦 王磊 杨保争 何智超 
国家自然科学基金(61464003)。
为了实现低比导通电阻(Ron,sp)和高击穿电压(VBV),提出并仿真一种利用多个P埋层与阶跃掺杂漂移区的低导通电阻高电压SOI LDMOS(PL-SOI LDMOS)结构。PL-SOI LDMOS结构由多个不同的P埋层组成,其长度与浓度均在垂直方向依次递减。利用多个...
关键词:击穿电压 比导通电阻 多埋层 阶跃掺杂 LDMOS 
SiC功率LDMOS器件发展现状及新进展被引量:1
《半导体技术》2023年第11期949-960,共12页杨帅强 刘英坤 
集成化和小型化是未来电力电子技术的发展方向,SiC-横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件兼有SiC材料优势和LDMOS器件优势,击穿电压高、比导通电阻低、易与其他器件集成,在单片功率集成和小型化应用中起着重要的作用,但受限于晶圆材料...
关键词:SiC-横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS) 衬底 晶面 器件结构 击穿电压 比导通电阻 
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