压电MEMS微执行器技术研究进展  

作　　者：杜亦佳 

出　　处：《中国工程物理研究院科技年报》2017年第1期129-133,共5页Annual Report of China Academy of Engineering Physics

摘　　要：压电MEMS通过单片即可实现微执行、能量收集、传感和无线通信，是应用潜力巨大的热点技术。压电MEMS微执行器能够精确、自主地执行复杂动作如直线、旋转、加速度、钳动等，以此完成对极微小器件与结构的纳米尺度精确操作。因此，压电MEMS微执行器不但能够满足集成微系统（IMS）对白测试性、微定位性和片上操控性的严苛要求，同时能够满足集成微系统对输出力矩／体积效能比、响应速度、分辨率、功耗、集成度方面的需求。

关 键 词：MEMS 微执行器 热点技术 压电 集成度 能量收集 无线通信 纳米尺度 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]