专利文摘  

出　　处：《玻璃》2018年第9期58-62,共5页Glass

摘　　要：一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法 摘要：本发明涉及一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法，包括以下步骤：在硅片上制备SiO2薄膜作为牺牲层；在牺牲层上制备GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜作为遮盖层；在遮盖层上滴加稀HNO3，腐蚀遮盖层得到颗粒间的裂缝；再滴加HF腐蚀颗粒间裂缝下面的SiO2薄膜；溅射生长出Ag金属薄膜；HCl浸泡去除遮盖层GZO薄膜；HF浸泡去除SiO2薄膜，得到金属Ag纳米网络；转移至涂有EVA光学胶的PET柔性透明基底，得到金属纳米网络透明导电玻璃。

关 键 词：专利文摘 SIO2薄膜 透明导电玻璃 金属薄膜 加工方法 ZNO薄膜 AZO薄膜 HNO3 

分 类 号：X781.5-18[环境科学与工程—环境工程]