显影液用超声波脱气装置  

作　　者：顾永田 程虎[1] 李泽 

机构地区：[1]沈阳芯源微电子设备有限公司,辽宁沈阳110168

出　　处：《科技创新导报》2018年第23期108-109,共2页Science and Technology Innovation Herald

摘　　要：我公司显影机台多采用PUDDLE方式进行显影,显影液的供液方式为氮气加压,在氮气加压罐里会不可避免的有气体与显影液混合,在显影液从喷嘴喷出的时候,会有气体析出,在晶圆上形成细小泡沫,影响显影效果。超声波可以在液体中传播并产生空化效应,此效应可以将显影液中气体排出,减少乃至消除显影液中气体,提高显影效果。

关 键 词：显影机 供液 脱气装置 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]