程虎

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显影液用超声波脱气装置
《科技创新导报》2018年第23期108-109,共2页顾永田 程虎 李泽 
我公司显影机台多采用PUDDLE方式进行显影,显影液的供液方式为氮气加压,在氮气加压罐里会不可避免的有气体与显影液混合,在显影液从喷嘴喷出的时候,会有气体析出,在晶圆上形成细小泡沫,影响显影效果。超声波可以在液体中传播并产生空化...
关键词：显影机 供液 脱气装置 
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