MOEMS器件及其应用  

作　　者：虞云 

出　　处：《今日电子》2002年第10期45-45,49,共2页Electronic Products

摘　　要：一、前言 进入21世纪以来,MEMS（MicroElectro Mechanical Systems,微机电一体化）技术在光领域中的应用非常引人注目。微机电一体化在光技术中的应用发展成了MOEMS（Micro OptoElectro Mechanical Systems,微光机电一体化）技术。由于以光通信网络为中心的市场急增、MEMS技术的成熟和国外发达国家的大力研究开发,微光机电一体化技术正在迅猛地发展。 随着因特网的普及,光纤通信的信息传输量爆发性的增加,据统计,在2000年时,北美每月需350 000 T byte的通信,预计2003年将达到约46倍。横跨太平洋的光缆国际通信的信息传输量在以5年内增加十倍的速度增长。为了满足这种需要,人们采用了波分复用（WDM）

关 键 词：微机电一体化 MEMS MOEMS 应用 微光机电一体化 

分 类 号：TH－39[机械工程]