用于1.55μm InGaAsP/InP DFB激光器的λ/4相移衍射光栅  

Holographic λ/4 Phase-Shifted Grating for 1.55μm InGaAsP/InP DFB Lasers

作　　者：缪育博 张静媛[1] 王圩[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》1991年第5期309-312,T001,共5页半导体学报（英文版）

摘　　要：采用全息二次曝光的方法,研制出用于 1.55μm InGaAsP/InP DFB激光器的,具有 λ/4相移的二级光栅,并通过扫描电镜(SEM)证明了相移的存在.本文分析了制备该种光栅的工艺原理,并提出了改善此种光栅质量的新方法.Second-order holographic λ/4 phase-shifted gratings have been fabricated in InP or InGa-AsP by holographic double exposure for 1.55μm InGaAsP/Inp DFB Lasers. The phase-shiftwas confirmed by comparing the SEM microphotographs.The principle and technique forfabricating the gratings are described.A new method to improve the gratings is put forward.

关 键 词：DFB激光器 INGAASP/INP 衍射光栅 

分 类 号：TN248.4[电子电信—物理电子学]