多层弯曲磁微执行器的宏模型  

A Macromodel of Magnetic Microactuator with a Multilevel Meander

作　　者：朱珂[1] 黄庆安[1] 

机构地区：[1]东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096

出　　处：《固体电子学研究与进展》2002年第3期344-348,共5页Research & Progress of SSE

基　　金：~~

摘　　要：首先介绍了多层弯曲磁微执行器的基本工作原理。根据磁路定律和等效磁荷方法 ,提出了考虑边缘漏磁效应的执行器工作的宏模型。计算结果与 ANSYS模拟和已有的实验结果进行了比较。The operation principle of magnetic microacturators with a multilevel meander is introduced. Based on the magnetic circuit principle and equivalent line charge method, a macromodel for the magnetic microactuator is proposed which considers the fringing effect. The results given by the macromodel are compared with the avaiable experiments and ANSYS simulation. It is shown that the macromodel may be used to design the magnetic microactuators.

关 键 词：宏模型 多层弯曲磁微执行器 悬磁阻 磁芯 微电子机械系统 MEMS 

分 类 号：TH－39[机械工程] TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]