半导体工业的新型氟化学产品  

作　　者：郑元昌 

出　　处：《化工生产与技术》2002年第4期30-30,共1页Chemical Production and Technology

关 键 词：六氟化钨 三氟化氯 半导体工业 新型 氟化学产品 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学]