基于PLC的EACVD镀膜设备控制技术研究  

作　　者：梁富华[1] 

机构地区：[1]安徽省机械科学研究所有限责任公司

出　　处：《科学技术创新》2019年第25期16-17,共2页Scientific and Technological Innovation

摘　　要：本文以EACVD镀膜设备的衬底温度为控制目标,选取西门子300系列PLC为控制核心,并扩展模拟量输入模块SM331采集电信号,和其他模块实现数字量输入/输出和模拟量输出,完成一套温控系统的设计,研究了PID控制与模糊控制在PLC中的实现技术,并基于Matlab/simulink进行了仿真验证。

关 键 词：PLC 模糊控制 PID控制 温度控制 

分 类 号：TP213.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]