新形势下微电子工艺实验教学改革研究  

作　　者：刘红梅[1] 王璐[1] 艾春鹏[1] 孙凤云[1] 鞠鑫[1] 

机构地区：[1]黑龙江大学

出　　处：《黑龙江教育（理论与实践）》2019年第9期55-56,共2页Heilongjiang Education：Theory & Practice

基　　金：2017年黑龙江大学新世纪教育教学改革工程项目“基于新工科形势下微电子工艺实验的改革与发展”(2017C06)

摘　　要：文章探讨了在新工科建设的新形势下,如何突出黑龙江大学微电子专业微电子器件方向的特色,在现有的微电子工艺实验条件下,将过去的传统、分立实验进行改革,建立一个创新型实验教学体系,从而使学生更牢固地掌握微电子器件及简单集成电路的整个工艺制造技术和测试方法。激发学生主动参与,突出创新能力的培养,创造良好的实验平台。

关 键 词：微电子工艺 创新性 实验教学 

分 类 号：TN405-4[电子电信—微电子学与固体电子学] G642[文化科学—高等教育学]