GaN蚀刻期间电感耦合Cl2／BCl3等离子体的特性  

作　　者：白雪 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第12期19-21,共3页

关 键 词：氮化镓 含氯气体 激光二极管 GAN 蚀刻 电感耦合 Cl2/BCl3 等离子体 特性 

分 类 号：O53[理学—等离子体物理] TN305.7[理学—物理]