离子轰击对反应性溅射合成氮化硼薄膜的影响  

作　　者：马兵 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第12期21-23,共3页

关 键 词：离子轰击 反应性溅射合成 氮化硼薄膜 影响 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]