氮化硼薄膜

作品数：128被引量：123H指数：6
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立方氮化硼薄膜的制备及光学性质调控
《超硬材料工程》2023年第5期16-20,共5页刘彩云 殷红 
国家自然科学基金(No.51872113,No.51572105)。
立方氮化硼(cBN)作为超宽禁带半导体材料,由于具有一系列优异的物理化学性质而受到广泛关注。文章采用射频磁控溅射方法通过优化工艺参数成功地在单晶硅衬底上制备了cBN薄膜。在工作气体为氮氩混合气体、功率120 W、生长温度为600℃的...
关键词：立方氮化硼薄膜 微观结构 分子振动 光学性质 
基于氮化硼薄膜的alpha粒子探测器被引量：1
《电子技术与软件工程》2022年第5期89-92,共4页王少堂 黄河 岳秀萍 万志永 
本文利用低压化学气相沉积法在蓝宝石衬底上外延生长了高质量的厚度为1μm的h-BN。在h-BN上沉积Au电极制备了MSM(Metal-Semiconductor-Metal)结构的alpha粒子探测器。对制备器件的电学特性进行测试,结果表明无论是正向电压还是反向电压...
关键词：H-BN 探测器 MSM结构 alpha粒子 
六方氮化硼薄膜对石墨烯-碳化硅结构近场热辐射的增强被引量：2
《工程热物理学报》2021年第4期966-972,共7页王波 张纪红 李聪颖 
国家自然科学基金资助项目(No.11604285);山东省自然科学基金项目资助(No.ZR2016FQ11)。
六方氮化硼(hBN)具有跟石墨烯类似的层状结构和晶格参数,研究发现hBN薄膜具有良好的热传导、电绝缘、光学和力学等性能。本文从理论上研究了hBN薄膜对石墨烯-碳化硅(G/S)结构的近场热辐射的影响。研究发现在红外频段.hBN薄膜在低频率区...
关键词：六方氮化硼 近场热辐射 薄膜厚度 石墨烯 
沉积温度对气凝胶表面制备氮化硼薄膜微观结构及其疏水性能的影响被引量：2
《当代化工》2021年第3期522-525,共4页刘景雯 赵海谦 赵雨新 冯绍桐 杨洋 刘晓燕 
黑龙江省优秀青年基金项目(项目编号:YQ2019E008);东北石油大学国家自然科学基金培育基金青年重点项目(项目编号:2018GPQZ-09);东北石油大学省杰青后备人才项目(项目编号:SJQHB202003)。
为研究氮化硼纳米薄层在气凝胶疏水改性领域的应用前景,采用气相沉积法在二氧化硅气凝胶基底上制备了氮化硼纳米片薄层,研究了制备参数(制备温度、保温时间)对氮化硼纳米薄层的表面形貌及其疏水性能的影响。结果表明:生长涂层的最佳制...
关键词：化学气相沉积 二氧化硅气凝胶 氮化硼纳米片 疏水性能 
基于低压化学气相沉积方法的二维六方氮化硼薄膜制备被引量：1
《神州》2018年第16期236-236,共1页李骁霖 
六方氮化硼薄膜研究目前尚处于基础阶段,其制备方法尚不成熟.本文主要介绍了采用化学气相沉积（CVD）工艺,以环硼氮烷（Borazine）为先驱体,以Cu为衬底,得到结晶度高、尺寸大并且厚度均匀的六方氮化硼薄膜的制备过程,以及转移过程.
关键词：六方氮化硼薄膜 化学气相沉积 制备方法 转移过程 
化学气相沉积法制备六方氮化硼薄膜的研究进展被引量：1
《广东化工》2018年第5期123-124,122,共3页张鑫宇 徐志威 朱家光 徐紫巍 
中国博士后科研基金(No.2016M601722);江苏大学科研启动基金(14JDG120);江苏大学大学生科研立项项目(No.15A413)
六方氮化硼(h-BN)最早于20世纪早期被合成得到。由于其具有高熔点,热膨胀系数小,热导率高等优点,20世纪50年代起,世界上开始用各种方法合成获得了六方氮化硼薄膜,并将其广泛应用于工业生产各个领域。本文主要介绍了近年来用化学气相沉...
关键词：六方氮化硼 化学气相沉积法 催化剂衬底 
不同温度下异质外延生长立方氮化硼薄膜及其原位掺杂
《超硬材料工程》2018年第1期28-33,共6页赵德鹤 殷红 
本工作感谢国家自然科学基金（基金号：51572105和61504046）,教育部留学回国人员启动基金,吉林省发改委创新项目（资助号：2015Y050）以及吉林省留学回国人员启动基金的支持.
在金刚石（ 0 0 1） 基底上, 在4 0 0℃、 6 0 0℃和9 0 0℃温度条件下外延生长高质量的c -B N薄膜.在不同的沉积温度下的薄膜生长过程中掺入S i , 实现了n型原位掺杂.S i的浓度随着生长温度的降低而升高.系统地研究了不同的沉积温度和...
关键词：离子束辅助沉积 立方氮化硼薄膜 外延 原位掺杂 n型导电 电子应用 
沉积时间对磁控溅射法制备氮化硼薄膜相结构的影响
《产业与科技论坛》2016年第23期62-63,共2页徐洋 
包头师范学院青年科技基金项目"正交氮化硼(oBN)薄膜的制备及相转变研究"(编号:BSYKJ2014-32)成果
利用射频磁控溅射方法,以六角氮化硼(h BN)为靶材,在单晶硅衬底上制备氮化硼(BN)薄膜,系统地研究了沉积时间对BN薄膜相结构的影响。红外光谱分析表明,随着沉积时间的增加,薄膜中h BN相含量减少,正交氮化硼(o BN)相含量增加。
关键词：氮化硼薄膜 沉积时间 红外光谱 相转变 
铜箔上生长的六角氮化硼薄膜的扫描隧道显微镜研究
《物理学报》2016年第11期189-196,共8页徐丹 殷俊 孙昊桦 王观勇 钱冬 管丹丹 李耀义 郭万林 刘灿华 贾金锋 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB921902,2012CB927401,2013CB932604,2012CB933403);国家自然科学基金(批准号:11521404,11134008,11574201,11574202,11504230,51472117,51535005);上海市科委科技基金(批准号:15JC1402300,14PJ1404600);江苏省自然科学基金(批准号:BK20130781)资助的课题~~
利用扫描隧道显微镜研究了采用化学气相沉积法在铜箔表面生长出的高质量的六角氮化硼薄膜.大范围的扫描隧道显微镜图像显示出该薄膜具有原子级平整的表面,而扫描隧道谱则显示,扫描隧道显微镜图像反映出的是该薄膜样品的隧穿势垒空间分布...
关键词：氮化硼 隧穿势垒 扫描隧道显微镜 
h-BN和石墨烯薄膜在AlN衬底的导热增强效应被引量：1
《山东工业技术》2016年第7期27-28,共2页万红兵 任岳 
通过磁控溅射和化学沉积方法在Al N衬底上分别制备六方氮化硼和石墨烯薄膜,利用Raman、SEM对薄膜物相和形貌进行表征,并使用激光导热测定仪进行导热系数测定。实验结果表明,石墨烯能有效提高基底的导热性能,为石墨烯散热提供有效数据。
关键词：磁控溅射 六方氮化硼薄膜 石墨烯 导热系数 
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