基于模糊自整定PID算法的划片机DD马达位置控制  

DD Motor position control of chip shaper based on fuzzy self-adjusting PID algorithm

作　　者：刘涛 周虎[1] 高金杰 苏炳望 周强 LIU Tao;ZHOU Hu;GAO Jin-jie;SU Bing-wang;ZHOU Qiang

机构地区：[1]东华大学机械工程学院

出　　处：《制造业自动化》2019年第12期22-26,共5页Manufacturing Automation

摘　　要：新一代的晶圆划片机是在日本DISCO划片机的基础上发展出来的,具有精度高,操作简便、可加工晶圆尺寸范围广等优点。在对划片机DD马达的控制过程中,由于种种原因可能会有丢脉冲的现象发生,以及在加工过程中需要更换不同规格、不同重量的工作盘,从而导致DD马达的位置控制不精确。因此需要利用PID算法对PID控制的三个参数进行调节,以控制DD马达的位置输出到达相应的位置。PID算法中的三个参数KP、KI、KD,分别对应着比例、积分和微分控制。利用模糊自整定PID算法对DD马达的输入和输出进行控制,对于丢脉冲的现象和不同规格的工作盘做到系统自适应控制,可以使DD马达的位置输出达到非常高的精度。

关 键 词：划片机DD马达输出控制 PID控制 自整定 模糊算法 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]