材料帮助图形成像以解决PPAC中的矛盾  

作　　者：Regina Freed 

机构地区：[1]应用材料公司

出　　处：《中国电子商情》2020年第7期56-60,共5页China Electronic Market

摘　　要：在半导体产业的黄金时代,当戈登·摩尔还在为自己的公司制定路线图时,平面尺寸的缩小就带来了功耗、性能和面积/成本的同步进步(PPAC)。但随着时间的推移,登纳德平面尺寸缩小定律对功耗的帮助受阻,而材料工程开始应用于半导体制造,以促进功耗、性能和面积/成本的持续提高。其中,高K值金属栅极就是一个最有力的例证。

关 键 词：半导体制造 金属栅极 半导体产业 尺寸缩小 路线图 黄金时代 

分 类 号：TN43[电子电信—微电子学与固体电子学] TP391.41[自动化与计算机技术—计算机应用技术]