硅片清洗自动上料机械手设计  

作　　者：姚明勇 

机构地区：[1]航天智造(上海)有限责任公司,上海200233

出　　处：《中国设备工程》2020年第22期95-98,共4页China Plant Engineering

摘　　要：针对脱胶后的硅片在进行清洗前的分装、搬运、上料到清洗机设备的整个过程都需要人工作业,为避免对硅片造成二次污染和损伤。为确保清洗前能顺利分片整个过程都是在水质环境中进行,常年操作员的手浸泡损伤较大。单体硅片载体治具重量约20kg,每隔8分钟做次上下料动作,劳动强度较大。本文介绍了硅片在脱胶后分装到硅片载体治具中,从输送线系统自动上料到清洗机设备,空载体治具自动下料到治具回流输送线体的过程。本案的实施有效地解决了上述问题。

关 键 词：硅片 脱胶 清洗 上料 机械手 

分 类 号：TP241[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]