正负性显影液显影机制简介  

作　　者：郭景 吴萍 

机构地区：[1]南京中电熊猫液晶材料科技有限公司

出　　处：《电子世界》2020年第19期150-151,共2页Electronics World

摘　　要：在TFT液晶显示器、Color Filter彩色滤光片和集成电路等的制作工艺中,为获得所需的精细pattern图形,需要使用光刻胶这样的感光材料,先以涂布的方式在玻璃基板或基材上形成一定厚度的薄膜,再经掩膜版曝光后,使用显影液进行显影,去除不需要的光刻胶薄膜部分,最终获取需要的图形。

关 键 词：彩色滤光片 光刻胶 集成电路 TFT液晶显示器 玻璃基板 显影液 感光材料 掩膜版 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]