虹科HK-CIFX PC通讯板卡使匀胶显影机控制一体化  

作　　者：无 

机构地区：[1]广州虹科电子科技有限公司

出　　处：《国内外机电一体化技术》2021年第1期28-29,共2页International Mechatronics Technology

摘　　要：1前言匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备,包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等。—般匀胶显影机由动力系统、显影液槽及喷液管、水洗槽、挤压辐、涂胶槽等部分组成,其适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺。

关 键 词：化工材料 动力系统 光刻工艺 浸没式 导电玻璃 涂布 控制一体化 水洗槽 

分 类 号：TS8[轻工技术与工程]