离子注入技术在n型太阳电池中的应用研究  

作　　者：张伟 聂师华 

机构地区：[1]英利能源(中国)有限公司,河北保定071051

出　　处：《科学与信息化》2021年第17期100-101,共2页Technology and Information

摘　　要：本文提出了一种高效率、低成本的双面n型PERT(钝化发射极背面全扩散)电池的制备方法,采用常规的BBr3热扩散技术制备p+发射极,采用磷离子注入技术替代常规的POCl3扩散制备n+背场,为了减少工艺步骤和热损耗,将BBr3热扩散与磷离子注入后的热退火两个工艺步骤集成,通过一步高温过程同时完成发射极和背场掺杂,简化了工艺流程。离子注入n-PERT电池具有更高的电池效率,电池效率较扩散电池提升了0.34%,电池平均效率达到21.59%。

关 键 词：离子注入 热退火 方块电阻 钝化 开路电压 

分 类 号：TM9[电气工程—电力电子与电力传动]