CMP干燥模组控制软件设计  

Design of Control Software for CMP Equipment Drying Module

作　　者：杨旭 杨元元[1] 王嘉琪 贾若雨 YANG Xu;YANG Yuanyuan;WANG Jiaqi;JIA Ruoy(The 45th Research Institute of CETC,Beijing 100176,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176

出　　处：《电子工业专用设备》2021年第3期16-20,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：介绍了旋转干燥和异丙醇加热雾化干燥的工作原理,深入分析了控制软件的需求,利用面向对象的设计方法,完成了系统架构的设计,并对干燥加工、异丙醇补液、参数监控3个关键功能模块进行了设计,目前该软件已在设备端应用中达到了理想的工艺性能。This paper introduces the working principles of rotary drying and IPA heating and atomization drying,deeply analyzes the requirements of the drying module control software,uses the object-oriented design method to complete the system architecture design,and introduces a detailed design of the key function modules,including dry processing control,IPA replenishment and parameters monitoring.At present,the software has reached the ideal process performance in the application of equipment。

关 键 词：半导体制造 控制软件设计 面向对象 晶圆干燥 化学机械抛光 

分 类 号：TN305.2[电子电信—物理电子学]