探讨半导体蚀刻机台温湿度监控系统  

作　　者：黎金睿 金景怡 

机构地区：[1]武警士官学校

出　　处：《电子世界》2021年第24期168-169,共2页Electronics World

摘　　要：蚀刻技术是指在半导体制造工艺中,在适宜的温、湿度环境下,利用化学溶液或者等离子体,对半导体表面选择性去除的技术。半导体蚀刻机台则是进行蚀刻工艺的设备,为其提供合适的环境。基于此,本文先探讨此类温湿度监控系统必要性,再分析目前国内外研究状况,最后对整个系统进行介绍,以供相关工作人员参考。

关 键 词：半导体制造工艺 半导体表面 化学溶液 温湿度监控系统 湿度环境 蚀刻技术 半导体蚀刻 机台 

分 类 号：G63[文化科学—教育学]