基于碳化硅的高温压力传感器芯片在国内的研究进展  

作　　者：任向阳 张治国[1] 刘宏伟[1] 祝永峰[1] 贾文博 

机构地区：[1]沈阳仪表科学研究院有限公司

出　　处：《电子世界》2022年第1期39-40,共2页Electronics World

摘　　要：碳化硅材料凭借其具有一定的压阻效应、较大的带隙、较强的抗腐蚀性能等优点,在压力传感器领域有不错的应用前景,可广泛应用于高温、强辐射、强腐蚀等硅材料无法胜任的极端恶劣的环境中。本文以国内碳化硅高温压力传感器的研究现状为背景,简单介绍几种不同结构类型的碳化硅高温压力传感器。

关 键 词：高温压力传感器 压阻效应 碳化硅材料 抗腐蚀性能 强腐蚀 强辐射 研究现状 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]