压电振动板弯曲振动特性研究  

作　　者：杨志峰[1] 李克洪[1] 张帅[1] 邹赫麟[1] 

机构地区：[1]大连理工大学,辽宁大连116024

出　　处：《机电技术》2022年第4期21-24,共4页Mechanical & Electrical Technology

摘　　要：压电振动板是压电喷墨打印头的核心结构之一,压电振动板的弯曲振动特性将直接影响压电式喷墨打印头的各项性能。文章基于MEMS工艺设计制作了一种压电振动板结构,该结构通过释放PZT压电层部分固定约束来达到增加振动幅度的目的。建立了压电振动板弯曲振动理论模型;利用激光多普勒测振装置对不同结构参数的压电振动板振动幅度进行测量,研究分析了压电振动板不同结构参数对压电振动板振动幅度的影响。

关 键 词：压电振动板 MEMS 弹簧结构 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TN405