微机电系统制造工艺综述  

作　　者：胡艺森 

机构地区：[1]南京理工大学机械工程学院,江苏南京210094

出　　处：《新型工业化》2022年第7期71-75,共5页The Journal of New Industrialization

摘　　要：微机电系统(MEMS)是基于集成电路和微机械加工技术发展起来的机械系统,本文阐述了国内外微机电系统发展的情况,论述了微机电系统制造技术的种类、方法、材料及应用领域,总结了湿法刻蚀、干法深刻蚀、表面微加工三种常用的MEMS加工工艺的原理、加工方法及应用,并基于目前的加工技术与应用现状对MEMS加工工艺的未来进行展望,提出从利用负压技术、刻蚀溶液或刻蚀气体的选择、调整循环速率等方向进行研究,从而改进MEMS加工工艺,实现微机电系统的突破发展。

关 键 词：MEMS 湿法刻蚀 干法深刻蚀 表面微加工 

分 类 号：TH164[机械工程—机械制造及自动化]