场发射扫描电子显微镜  

Field Emission Scanning Electron Microscope SEM 5000/4000

出　　处：《中国科学院院刊》2023年第S01期33-33,共1页Bulletin of Chinese Academy of Sciences

摘　　要：主要技术与性能指标,SEM 5000,电子枪类型:肖特基场发射电子枪,分辨率:1.0 nm@15 kV,SE;1.5 nm@1 kV,SE;0.8 nm@30 kV,STEM,放大倍率:1-2500000×,加速电压:20 V-30 kV,样品台:五轴全自动样品台SEM 4000,电子枪类型:肖特基场发射电子枪,分辨率:1.0 nm@30 kV。

关 键 词：场发射电子枪 加速电压 肖特基 场发射扫描电子显微镜 放大倍率 STEM 性能指标 分辨率 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]