TVS管单向漏电原因分析  

作　　者：李红高 卜洁 

机构地区：[1]苏州华碧微科检测技术有限公司,江苏苏州215127

出　　处：《电子元器件与信息技术》2023年第8期5-7,11,共4页Electronic Component and Information Technology

摘　　要：TVS管作为常见的电路保护器件,其常见的失效现象为单向或者双向漏电,从而导致在实际应用中起不到应有的保护作用。本文通过对TVS产品结构和工艺的研究,通过对器件以及芯片进行IV特性测试、破坏性物理分析(DPA)、失效定位分析(EMMI)、模拟焊接炉温加热实验等失效分析,比对器件及芯片的分析数据,结合晶圆生产、芯片封装过程的工艺方法以及玻璃钝化芯片物理属性,分析出了TVS管漏电失效的原因为芯片生产过程遭遇的机械应力导致器件芯片玻璃钝化层破损或者PN结损伤,达到了快速合理地鉴别责任方的目的。

关 键 词：玻璃钝化 漏电 破坏性物理分析 机械应力损伤 

分 类 号：TN322.8[电子电信—物理电子学]