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出　　处：《中国计量》2023年第11期51-53,共3页China Metrology

摘　　要：NIST发布《极紫外(EUV)光刻分析报告》近日,美国国家标准与技术研究院(NIST)召开了交叉工作组会议,并发布了《极紫外光刻(EUVL)工作组会议报告:现状、需求和前进道路》。会议集中讨论了EUVL的研究、开发和制造等方面的关键技术问题和所需的计量学进展。报告简要总结了EUVL的五个技术主题(液滴发生器、EUV产生的辐射计量学、等离子体物理和建模、EUV组件的表征、EUV光分析工具),并对行业发展提出了建议,同时总结了调查结果和后续工作的建议。

关 键 词：极紫外光刻 等离子体物理 工作组会议 计量学 分析报告 液滴发生器 EUVL 

分 类 号：F203[经济管理—国民经济]