晶盛机电成功研发8英寸碳化硅外延设备  

出　　处：《中国机电工业》2023年第8期41-41,共1页China Machinery & Electric Industry

摘　　要：近日,晶盛机电成功研发出具有国际先进水平的8英寸单片式碳化硅外延生长设备,引领国内碳化硅行业技术升级。该设备可实现掺杂均匀性4%以内的外延质量,是晶盛机电在第三代半导体设备领域的又一次重要技术突破。

关 键 词：单片式 外延生长 碳化硅 第三代半导体 机电 国际先进水平 均匀性 外延设备 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]