基于CDIO的集成电路工艺课程的理论与实践教学一体化研究  

Research on Integration of Theory and Practice Teaching of Integrated Circuit Process Course Based on CDIO

作　　者：李严[1] 殷树娟[1] 邓伟 吴秋新[1] Li Yan;Yin Shujuan;Deng Wei;Wu Qiuxin(Beijing Information Science and Technology University,Beijing,100192,China)

机构地区：[1]北京信息科技大学,北京100192

出　　处：《中国现代教育装备》2023年第23期135-137,140,共4页China Modern Educational Equipment

基　　金：北京信息科技大学研究生培养思政建设重点项目“‘微电子工艺原理与仿真’课程的思政教学研究与探索”(编号:2023PYZD09);北京信息科技大学教学改革重点项目“基于‘5E’教学模式的集成电路设计探究性实验教学改革”(编号:2023JGZD06);教育部电子信息类专业教学指导委员会教改项目“OBE理念下CDIO教学模式实践教学体系的研究与探索”(编号:2021-JG-05)。

摘　　要：集成电路制造是集成电路产业链中的重要环节。集成电路工艺课程的实验设置是教学中的重点和难点,直接影响学生对于理论课程的理解和掌握情况。指出了目前集成电路工艺课程教学中存在的问题,基于CDIO模式提出了改进思路,介绍了改革成果,为相关专业集成电路工艺课程的改革提供了有价值的案例。Integrated circuit manufacturing is an important link in the integrated circuit industry chain.The experimental setting of integrated circuit technology course has always been the key and difficult point,which directly affects students'understanding and mastery of theoretical courses.This paper points out the problems existing in the current integrated circuit technology curriculum,puts forward ideas for improvement basing on CDIO,introduces the reform results,and provides a valuable case for the reform of integrated circuit technology curriculum in related majors.

关 键 词：集成电路制造 集成电路工艺 CDIO 

分 类 号：G642[文化科学—高等教育学]