利用三轴转台的MEMS陀螺仪温度误差研究综述  

Research on Temperature Error of MEMS Gyroscope Using Three-axis Turntable

作　　者：夏瑞阳 肖承翔[2] 潘康华[2] 

机构地区：[1]中国机械科学研究总院集团有限公司 [2]中机生产力促进中心有限公司

出　　处：《机械工业标准化与质量》2024年第1期41-43,共3页Machinery Industry Standardization & Quality

基　　金：国家重点研发计划项目《基于标准的先进封测平台建设及应用》课题资助,课题编号:2022YFB3207105

摘　　要：本文通过研究分析相关研究领域的文献,阐述了MEMS陀螺仪的工作机理以及产生温度误差的原因,并总结了当前MEMS陀螺仪温度误差研究领域所使用的测试方法和取得的一些成果,为后续的课题研究奠定基础。

关 键 词：MEMS陀螺仪 三轴转台 零偏输出温度误差 

分 类 号：TH824.3[机械工程—仪器科学与技术]