“卡脖子”技术:国内抛光液行业如何突破?  

出　　处：《中国粉体工业》2024年第4期38-39,29,共3页China Powder Industry

摘　　要：CMP抛光液作为“卡脖子”技术之一,工艺复杂,种类繁多,根据工件的抛光需求不断磨合得到合适的抛光液配方,是目前主要的技术难题。抛光液:缺一不可化学机械抛光液生产过程为配方型复配工艺,以常温常压下复配、混合、过滤为主,不涉及复杂剧烈的化学反应。

关 键 词：抛光液 化学机械抛光 常温常压 化学反应 技术难题 

分 类 号：TG1[金属学及工艺—金属学]