日本最新成果有望带来光刻机技术新方案  

作　　者：王维 

机构地区：[1]不详

出　　处：《环球财经》2024年第9期105-109,共5页Global Finance

摘　　要：2024年7月29日,日本冲绳科学技术大学院大学(OIST)发布了新研究成果,该校的新竹积1教授提出了一种突破性的EUV光刻技术,有望大幅降低传统技术的复杂度和生产成本。除此之外,日本佳能公司的纳米压印(Nano-imprint)技术也有潜力为光刻机市场贡献新的技术解决方案。

关 键 词：光刻机 纳米压印 日本佳能公司 技术解决方案 日本冲绳 EUV光刻 生产成本 研究成果 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]