从量子芯片的结构看量子芯片能否实现“光刻机自由”  

作　　者：刘林[1] 薛源[1] 

机构地区：[1]国家知识产权局专利局专利审查协作河南中心

出　　处：《中国科技信息》2024年第18期15-17,22,共4页China Science and Technology Information

摘　　要：量子芯片是不同于传统半导体芯片的一种全新集成电路芯片,已经在多个方面展现出远超传统芯片的优势,目前各国纷纷投入巨资进行相关研究,期望在该领域获得主导地位。本文着重从半导体制造的角度,分析量子芯片的技术路线和结构组成,进而分析和结构相对应的芯片制造,最后从技术发展格局和制造工艺角度对该领域进行了展望。

关 键 词：集成电路芯片 半导体芯片 半导体制造 芯片制造 工艺角度 光刻机 主导地位 

分 类 号：TN40[电子电信—微电子学与固体电子学]