稀贵金属溅射靶材及关联微电子器件制造关键技术与应用  

作　　者：无 闻明 

机构地区：[1]云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司 [2]杭州立昂微电子股份有限公司 [3]昆明贵金属研究所

出　　处：《中国科技成果》2024年第16期7-9,共3页China Science and Technology Achievements

摘　　要：半导体产业是现代信息社会的基石,在推动经济发展、社会进步、提高人民生活水平及保障国家安全等方面发挥着重要作用,是支撑当前经济社会发展和保障国家安全的基础性、战略性和先导性的产业.我国已成为全球电子信息产品的主要消费市场,但目前高端芯片仍依赖进口.

关 键 词：电子信息产品 半导体产业 微电子器件 稀贵金属 溅射靶材 推动经济发展 消费市场 先导性 

分 类 号：TN15[电子电信—物理电子学]