粒子加速器是摩尔定律的未来吗?  

作　　者：John Boyd 

机构地区：[1]不详

出　　处：《科技纵览》2024年第7期30-35,4,共7页IEEE Spectrum

摘　　要：英特尔、三星、台积电以及日本即将落成的先进晶圆代工厂Rapidus都计划在每平方毫米的硅片上放置更多晶体管,它们有一个共同点,那就是支撑其工作的极紫外(EUV)光刻技术极其复杂、非常昂贵且运营成本相当高昂。主要原因是,生产这种系统的13.5纳米光源的过程非常精准且花费颇巨,需要用世界上最强大的商业激光器轰击飞行的熔融锡滴。

关 键 词：光刻技术 摩尔定律 晶圆代工厂 粒子加速器 平方毫米 运营成本 英特尔 晶体管 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]