上海微系统所开发出面向新型芯片的绝缘材料  

出　　处：《传感器世界》2024年第8期50-50,共1页Sensor World

摘　　要：中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员狄增峰团队在面向低功耗二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆研制方面取得进展。2024年8月7日,相关研究成果以Single-crystalline metal-oxide dielectrics for topgate 2D transistors为题发表在《自然》(Nature)上。

关 键 词：栅介质 中国科学院 集成电路 绝缘材料 信息技术 新型芯片 晶圆 

分 类 号：TN40[电子电信—微电子学与固体电子学]