高性能钼粉与高端钼基溅射靶材制备关键技术与应用  

作　　者：无 车玉思 张雪凤 李庆奎 吴小超 李帅方 王成铎 

机构地区：[1]郑州大学 [2]丰联科光电(洛阳)股份有限公司 [3]中原关键金属实验室 [4]不详

出　　处：《中国科技成果》2024年第21期63-63,共1页China Science and Technology Achievements

摘　　要：平板显示产业是当前新一代电子信息技术的支柱产业之一,我国平板显示产业累计总投资已超过1.3万亿元,产业规模居世界首位,显示面板出货量全球占比超过50%.但目前我国有超过60%的信息显示关键材料无法实现自主供给,与我国作为显示大国的产业整体发展水平不匹配,对电子信息产业的健康与可持续发展构成重大潜在威胁.因此,亟需提升我国显示关键原材料的自主生产能力.钼基溅射靶材作为新型平板显示中扩散阻挡层、电极及配线的原材料,是一种新型高科技附加值钼深加工产品.长期以来,高性能大尺寸钼基溅射靶材制备的关键技术及市场被国外行业巨头垄断,我国高端钼基溅射靶材只能依赖进口,一直处于"卡脖子"状态,亟需开展高性能大尺寸钼及钼基合金靶材制备关键技术研究.

关 键 词：电子信息产业 支柱产业 扩散阻挡层 溅射靶材 平板显示产业 显示面板 电子信息技术 钼基合金 

分 类 号：TN873[电子电信—信息与通信工程]