扩散阻挡层

作品数：139被引量：281H指数：9
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3D封装凸点电镀技术发展现状与扩散阻挡层的研究进展
《电镀与精饰》2025年第3期83-95,105,共14页周湘卓 陈沛欣 凌惠琴 李明 
随着芯片制造不断朝着高密度、多功能、低成本的方向发展,按照摩尔定律继续缩小的晶体管尺寸已经接近物理极限,并且面会临成本急剧升高的问题。基于芯片垂直互连的3D封装是进一步提升晶体管密度的有效手段,而铜柱凸点是芯片垂直互连的...
关键词：3D封装 凸点 电镀 可靠性 扩散阻挡层 
铜金属化中扩散阻挡层的研究进展
《表面技术》2025年第1期84-96,共13页李荣斌 康旭 周滔 张如林 蒋春霞 王璐 
国家自然科学基金联合基金重点项目(U23A20607);上海市工业强基专项(GYQJ-2023-1-06);上海大件热制造工程技术研究中心项目(18DZ2253400)。
随着第四次工业革命的到来,集成电路尺寸的微小型化是其发展的必然结果。铜互连取代铝互连在集成电路后道工艺中取得了革命性变革,为推动集成电路产业迈向新的发展阶段注入了强劲动力。然而,随着半导体器件尺寸的减小,铜原子向硅界面的...
关键词：铜金属化 扩散阻挡层 薄膜制备 石墨烯 自组装分子层 高熵合金 
高性能钼粉与高端钼基溅射靶材制备关键技术与应用
《中国科技成果》2024年第21期63-63,共1页无 车玉思 张雪凤 李庆奎 吴小超 李帅方 王成铎 
平板显示产业是当前新一代电子信息技术的支柱产业之一,我国平板显示产业累计总投资已超过1.3万亿元,产业规模居世界首位,显示面板出货量全球占比超过50%.但目前我国有超过60%的信息显示关键材料无法实现自主供给,与我国作为显示大国的...
关键词：电子信息产业 支柱产业 扩散阻挡层 溅射靶材 平板显示产业 显示面板 电子信息技术 钼基合金 
Zr、Cr掺杂对铜互连薄膜结构及性能的影响
《稀有金属材料与工程》2024年第9期2535-2545,共11页尹振东 林松盛 付志强 苏一凡 
广东省重点领域研究发展计划(2020B0101320001);广东省科学院发展专项资金(2022GDASZH-2022010109,2022GDASZH-2022010103)。
研究了Zr和Cr元素掺杂对Cu互连薄膜的结构及性能的影响。利用直流磁控溅射技术在SiO_(2)/Si衬底上沉积了Cu、Cu(Zr)、Cu(Cr)、Cu(ZrCr)4种薄膜,并在温度400~800℃下对薄膜真空退火1h。通过SEM、XRD和四探针法对不同薄膜的表面形貌、微...
关键词：铜互连薄膜 掺杂 电阻率 热稳定性 扩散阻挡层 
碲化铋基热电器件的界面研究进展
《铜业工程》2024年第3期31-39,共9页武云笑 夏凯阳 胡惠平 张宇 付晨光 朱铁军 
国家重点研发计划项目(2023YFB3809400);浙江省自然科学基金委重大项目(LD22E020005)资助。
热电转换技术是一种直接将电能和热能相互转换的技术,在航空航天、新型能源、电子通信等领域具有重要的应用价值。碲化铋材料是最早被发现的半导体热电材料之一,它在室温附近所展现出的优异热电性能,使碲化铋基热电器件成为目前唯一成...
关键词：热电器件 界面性能 界面接触电阻 界面结合强度 扩散阻挡层 
UO_(2)与Zr包壳的扩散反应阻挡层
《中国表面工程》2024年第2期220-226,共7页黄杰 曾强 刘喆 陈江善 李浩鹏 廖斌 
UO_(2)-Zr燃料体系广泛应用于压水反应堆和各种研究试验堆中,但在反应堆运行工况下,UO_(2)燃料与Zr包壳会发生扩散反应。在UO_(2)燃料与Zr包壳之间制备一层氧扩散阻挡层,阻止UO_(2)中的氧原子向Zr包壳中扩散,是提高核燃料元件的安全性...
关键词：核燃料 扩散阻挡层 相容性 涂层 
Nb/Mg_(3)SbBi界面层热稳定性研究被引量：2
《无机材料学报》2023年第8期931-937,共7页胡忠良 傅赟天 蒋蒙 王连军 江莞 
国家自然科学基金(52174343)。
Zintl相Mg_(3)(Sb,Bi)_(2)基热电材料因在中低温区(27~500℃)表现出优异的热电性能而受到广泛关注。然而,由于Mg、Sb元素比较活泼,在长期高温服役下易与电极发生剧烈界面扩散反应,导致热电器件的性能和服役寿命衰减。因此,选择能有效阻...
关键词：Mg_(3)(Sb Bi)_(2) 扩散阻挡层 界面稳定性 界面电阻率 
纳米多层高熵难熔合金的扩散阻挡性能被引量：1
《中国有色金属学报》2023年第6期1878-1889,共12页李鹏飞 开明杰 陈家豪 马涵 韩茜婷 操振华 
国家自然科学基金资助项目(52071176,51671103);江苏高校优势学科建设工程项目。
本工作研究了纳米高熵合金单层和多层阻挡层的扩散阻挡性能及其失效行为。结果表明:非晶态NbMoTaW单层阻挡层的失效温度达到600℃,高于W和TiVCr阻挡层的500℃。W/NbMoTaW多层阻挡层为纳米晶结构,柱状晶界面为原子扩散提供了扩散通道,削...
关键词：铜互连 扩散阻挡层 高熵合金 多层膜 
AlCrO扩散阻挡层对NiCrAlYSi涂层高温防护性能的影响
《天津职业技术师范大学学报》2023年第2期20-26,共7页王瑜 王重阳 尹霜 张士勇 姜肃猛 王铁钢 
天津市多元投入基金重点项目(22JCZDJC00670);天津市教委科研计划重点项目(2022ZD020);天津市大学生创新创业训练项目(202110066077).
针对发动机的关键零件涡轮叶片长期处于高温高压的工作环境中,易造成MCrAlY涂层与基体间的元素互扩散严重降低涡轮叶片的服役寿命问题。利用电弧离子镀技术在NiCrAlYSi涂层和高温合金基体之间加入AlCrO扩散阻挡层,可保护基体并抑制元素...
关键词：电弧离子镀 AlCrO扩散阻挡层 NiCrAlYSi高温防护涂层 抗氧化性能 元素扩散阻挡能力 
AlCrON扩散阻挡层对NiCrAlYSi涂层高温防护性能的影响被引量：1
《天津职业技术师范大学学报》2023年第1期8-14,共7页郭桦帅 刘艳梅 王瑜 张雅倩 王铁钢 
天津市科技重大专项(18ZXJMTG00050);天津市教委重点项目(2021ZD005).
为进一步提升航空发动机涡轮叶片的高温防护性能和服役寿命,利用电弧离子镀技术在NiCrAlYSi涂层和高温合金基体之间加入AlCrON扩散阻挡层,解决高温防护涂层与基体间因元素互扩散而导致快速失效的难题,以提高涂层耐热能力。采用SEM、XRD...
关键词：电弧离子镀 AlCrON扩散阻挡层 NiCrAlYSi高温防护涂层 抗氧化性能 元素扩散阻挡能力 
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