凌惠琴

作品数：11被引量：64H指数：4
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供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：铜互连电镀液镀液电镀添加剂更多>>
发文领域：化学工程一般工业技术电子电信理学更多>>
发文期刊：《大学物理》《微电子学》《上海交通大学学报》《电镀与精饰》更多>>
所获基金：国家自然科学基金上海市浦江人才计划项目上海市科委纳米专项基金更多>>
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高电导率低粗糙度铜镀层制备方法及性能研究
《电镀与精饰》2025年第3期18-25,共8页邓光洋 谢久男 凌惠琴 胡安民 李明 
高频高速信息传输需求的增加对高速背板连接器提出了更高要求,尤其是在高频高速状态下的信号完整性问题。高频信号传输损耗严重,其中一个重要影响因素为趋肤效应。趋肤效应使得信号主要集中于导体表面传输,因此表面镀层的表面粗糙度以...
关键词：铜镀层电沉积 高速背板连接器 信号完整性 表面粗糙度 
3D封装凸点电镀技术发展现状与扩散阻挡层的研究进展
《电镀与精饰》2025年第3期83-95,105,共14页周湘卓 陈沛欣 凌惠琴 李明 
随着芯片制造不断朝着高密度、多功能、低成本的方向发展,按照摩尔定律继续缩小的晶体管尺寸已经接近物理极限,并且面会临成本急剧升高的问题。基于芯片垂直互连的3D封装是进一步提升晶体管密度的有效手段,而铜柱凸点是芯片垂直互连的...
关键词：3D封装 凸点 电镀 可靠性 扩散阻挡层 
聚二硫二丙烷磺酸钠对电沉积纳米孪晶铜的影响被引量：2
《电镀与精饰》2023年第8期1-6,共6页张妍嘉 凌惠琴 杭弢 胡安民 吴蕴雯 李明 
国家自然科学基金资助项目(No.21972091);国家自然科学基金资助项目(No.62004124);国家自然科学基金重大项目(No.51991374)。
以聚二硫二丙烷磺酸钠(SPS)、明胶蛋白胨(GP)、氯离子为添加剂采用直流电镀制备了高度(220)择优取向的纳米孪晶铜,并探究了其形核机理。结果表明,加入SPS会使镀层由(111)和(220)取向转变为具有(220)择优取向的纳米孪晶铜,并且SPS浓度会...
关键词：纳米孪晶铜 电沉积 (220)择优取向 
玻璃通孔三维互连镀铜填充技术发展现状被引量：9
《电化学》2022年第6期42-61,共20页纪执敬 凌惠琴 吴培林 余瑞益 于大全 李明 
随着摩尔定律的发展迟缓,微电子器件的高密度化、微型化对先进封装技术提出了更高的要求。中介层技术作为2.5D/3D封装中的关键技术,受到了广泛研究。按照中介层材料不同,主要分为有机中介层、硅中介层以及玻璃中介层。与硅通孔(through ...
关键词：中介层 玻璃通孔 填充机理 填充工艺 添加剂 
问题式教学法联合输出式学习在材料物理教学中的应用探索被引量：3
《高等工程教育研究》2021年第S01期31-32,共2页凌惠琴 杭弢 
针对材料物理理论抽象,学生不知道"有什么用的"而引起的厌学问题和传统的输入式教学效果差的问题,以晶格振动为例探索在材料物理教学中结合以问题为导向和输出式学习的教学方法,提高学生学习效果,实现以学生为中心、以成果为导向的工程...
关键词：问题式教学法 输出式学习 材料物理 
材料学专业固体物理教学中的抽象与形象思维转化被引量：13
《大学物理》2018年第6期7-9,共3页杭弢 凌惠琴 顾佳俊 
2016年度上海交通大学课程教学改革项目;2017年度上海高校外国留学生英语授课示范性课程建设项目;2017年度上海交通大学材料科学与工程学院本科课程建设项目的资助
从上海交大材料学院开设固体物理课程的教学现状出发,结合材料学专业学生学习固体物理的特点和难点,通过总结教学团队多年讲授该课程的经验,提出了将固体物理中抽象概念形象化的一些教学思路及具体案例,以期对相近专业的固体物理课程教...
关键词：材料专业 固体物理 抽象与形象 思维转化 
硅通孔铜互连甲基磺酸铜电镀液中氯离子的作用被引量：1
《电镀与涂饰》2012年第2期6-9,共4页季春花 凌惠琴 曹海勇 李明 毛大立 
国家自然科学基金项目(青年基金)"TSV硅通孔甲基磺酸镀铜高速填充机理研究"(61006072)
研究了硅通孔(TSV)镀铜用甲基磺酸铜高速镀液(由Cu(CH3SO3)240g/L、甲基磺酸60g/L及Cl-50mg/L组成)中氯离子的作用机理。采用旋转圆盘电极研究了不同扩散条件下Cl-的作用效果,并采用电化学阻抗谱(EIS)和电子顺磁共振(EPR)探讨了Cl-在铜...
关键词：硅通孔 铜互连 电镀 氯离子 甲基磺酸盐 
TiO_2/Al_2O_3堆栈结构high-k薄膜的制备及性能被引量：1
《稀有金属材料与工程》2008年第A01期326-329,共4页凌惠琴 丁冬雁 周晓强 李明 毛大立 
采用磁控溅射法制备了TiO_2/Al_2O_3堆栈结构高k栅介质薄膜,研究了不同后处理条件对等效氧化物厚度,界面电荷和界面扩散的影响。实验结果表明:400℃退火后,TiO_2已经结晶,退火可以降低漏电流密度和介电层中的电荷密度。同时,退火使Ti进...
关键词：TiO2/Al2O3 堆栈结构 HIGH-K 界面层 
定向电结晶法制备纳米针锥晶布阵材料
《上海交通大学学报》2007年第S2期1-4,共4页杭弢 费琴 李明 凌惠琴 毛大立 
上海市纳米专项基金资助项目(0452nm030);国家自然科学基金资助项目(90406013);上海浦江人才计划(05PJ14065)
通过定向电结晶方法制备了镍基针锥晶布阵材料.用扫描电子显微镜(SEM)研究发现,在电沉积初始阶段形成大量晶核,随着沉积过程的进行,晶核不断纵向生长,从而形成针锥晶.透射电子显微镜(TEM)结果表明,定向电结晶法获得的镍基针锥晶材料的...
关键词：纳米针锥晶 定向电结晶 结合力 
CPU散热技术的最新研究进展被引量：29
《上海交通大学学报》2007年第S2期48-52,共5页高翔 凌惠琴 李明 毛大立 
国家自然科学基金资助项目(90406013);上海市纳米科技基金资助项目(0452nm030)
随着芯片集成度的不断提高,为CPU提供有效的散热方案成为电子行业的重要研究课题.针对CPU热障问题,着重讨论了热管、微通道和制冷芯片3种新型微冷却方式的发展现状、传热原理以及应用前景,分析了它们各自的优缺点和有待解决的问题,并对...
关键词：芯片冷却技术 热管 微通道 制冷芯片 
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