激光在硅片中嵌入纳米级元件  

作　　者：Edd Gent 

机构地区：[1]不详

出　　处：《科技纵览》2024年第9期16-17,共2页IEEE Spectrum

摘　　要：位于土耳其安卡拉的比尔肯大学的一个工程师团队实现了在硅晶片表面下方而非硅晶片的表面上打造一个纳米级元件.为了实现这个目标,他们使用了一种名为贝塞尔光束的特殊类型的激光,这种激光的光线可以穿过晶圆片的表面,并与下面的硅相互作用.由于贝塞尔光束不会发生衍射,因此现在人们有可能在硅的内部打造小至100纳米的二维结构.

关 键 词：贝塞尔光束 硅晶片 晶圆片 二维结构 特殊类型 硅片 激光 纳米级 

分 类 号：TN2[电子电信—物理电子学]