电子束光刻构筑的纳米世界  

作　　者：陈宜方 

机构地区：[1]复旦大学信息科学与工程学院

出　　处：《世界科学》2024年第12期32-36,共5页World Science

摘　　要：奇妙的纳米世界是指由数个到数百个原子组成的、尺寸在1~100纳米范围内并具有崭新功能的物质结构。历史上由于缺乏纳米制造技术,这个尺寸范围内所发生的自然现象一直是科学认知的盲区。1980年代,以计算机为代表的信息技术、材料生长技术和高精密仪器设备的发展,催生了纳米科技。其中,电子束光刻作为一种先进纳米制造技术,为科技人员创造了形形色色、多元的纳米结构和器件,构筑起了一个包罗物理、化学、生物等众多交叉学科的、丰富多彩的纳米世界。

关 键 词：精密仪器设备 电子束光刻 交叉学科 信息技术 科学认知 纳米科技 原子组成 尺寸范围 

分 类 号：G63[文化科学—教育学]