M OEMS光开关静电驱动的优化设计  

Optimization and Design of Electrostatic Drive for a MOEMS Optical Switch

作　　者：孙东明[1] 董玮[1] 郭文滨[1] 刘彩霞[1] 常惠明[1] 张龙[1] 纪平[1] 徐宝琨[1] 陈维友[1] 

机构地区：[1]吉林大学集成光电子学国家重点实验室,吉林大学实验区长春130023

出　　处：《光电子技术》2002年第4期223-227,共5页Optoelectronic Technology

基　　金：吉林省科技发展计划资助项目 (No.2 0 0 1 0 3 1 9)

摘　　要：给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构 ,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构 ,给出了静电驱动等方面的分析结果。This paper reports optimization and design of a MOEMS optical switch based on silicon. The structure of the optical switch is optimized. The method presented can reduce the drive voltage of torsion beam switch. Finally we give analytical results of electrostatic drive based on different structures.

关 键 词：MOEMS 优化设计 光开关 静电驱动 扭臂 

分 类 号：TN253[电子电信—物理电子学]