微纳操作器运动学分析  

Kinematics analysis on a micro-nano-manipulator

作　　者：嵇国金[1] 马奎[1] 王磊[1] 

机构地区：[1]同济大学中德学院,上海200092

出　　处：《微纳电子技术》2003年第3期39-42,共4页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：微纳操作器是纳米操作系统中的关键部件之一。本文重点分析了并联微纳操作器的运动学正解和道解,推导出了运动学正解的雅可比矩阵。依据微纳操作器的可操作空间最大化,对微纳操作器的雅可比矩阵进行了分析。分析结果对并联微纳机构的参数选择与设计具有一定的指导意义。Micro-nano-manipulator is an essential part in micro-nano-manipulation system. The forward and backward infinitesimal kinematics of a parallel micro-nano-manipulator are presented in this paper. The micro-nano-manipulability is analyzed through the Jacobian matrix. Its results merit to design the micro-nano-manipulator.

关 键 词：运动学 纳米操作系统 并联微纳操作器 雅可比矩阵 正解 

分 类 号：TP242.3[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]