硅压力传感器的非线性分析及优化设计  

Nonlinearity Analysis and Superior Design for Silicon Pressure Transducer

作　　者：沈桂芬[1] 付世[1] 丁德宏[1] 姚朋军[1] 张宏庆[1] 范军[1] 吕品[1] 

机构地区：[1]辽宁大学物理系,沈阳市110036

出　　处：《传感技术学报》2003年第1期39-43,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家医药管理局科研计划基金项目;浙江省重点科研计划基金项目资助 (NO.97110 30 99)

摘　　要：分析了硅压力传感器的线性与非线性 ,讨论了非线性产生的原因 。The nonlinearity of silicon pressure transducer is analyzed, The reason of nonlinearity error is discussed. The superior design of silicon pressure transducer is propounded.

关 键 词：压力传感器 非线性 线性度 内补偿 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]